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超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

发布时间:2022-07-18 09:07:57点击率:
超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
  • 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
  • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
  • 采用污染小、高真空样品仓
  • 运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2


  • 项目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
    二次电子分辨率 0.7 nm
    (加速电压15 kV)
    0.8 nm
    (着陆电压1 kV)*3
    0.6 nm(加速电压 15 kV)
    0.7 nm(着陆电压 1 kV)*3
    着陆电压 0.1~2 kV 0.01~20 kV
    放大倍率 20~1,000,000倍*4 20~2,000,000倍*4
    样品台 样品台控制 3轴马达台(可选5轴马达台) 5轴马达驱动
    移动范围 X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
    Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
    R 360°
    T -5~70°
    Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
    再现性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm
    *3
    减速模式下观察
    *4
    以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率

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